序號(hào)

名稱

應(yīng)用情況

典型設(shè)備

真空度（托）

應(yīng)用實(shí)例

1

宇航環(huán)境的模擬

宇航的軌道環(huán)境基本上是真空環(huán)境，
飛行器在發(fā)射之前必須在地面進(jìn)行空間環(huán)境的模擬試驗(yàn)。各種大小不同的模擬器都是真空設(shè)備。包括衛(wèi)星、飛船的熱真空模擬、材料的評(píng)價(jià)以及推進(jìn)器試驗(yàn)、載人摸擬試驗(yàn)等。綜合運(yùn)用真空獲得、測(cè)試、檢漏、工藝等技術(shù)。在地面復(fù)現(xiàn)空間環(huán)境，評(píng)價(jià)飛行器，發(fā)現(xiàn)和排除故障，提高可靠性。

機(jī)械泵
分子泵
低溫泵

10-2~10-14

大宇航環(huán)境摸擬設(shè)備的容器有1000立方米。

2

加速器技術(shù)

帶電粒子在加速場(chǎng)條件下被加速。必
須使加速管從離子源到靶室全處于高真空和超高真空條件下。以減少帶電粒子與氣分子發(fā)生碰撞而散射損失其能量。因而，加速器必備真空系統(tǒng)。在真空獲得和測(cè)量、檢漏等技術(shù)上都有其特珠要求。

鈦泵
低溫泵

10-11~10-12

美國(guó)已有300直徑的不銹鋼電子回旋加速器

3

可控?zé)岷藨?yīng)用技術(shù)

是在有效空間中人為地控制發(fā)生熱核反應(yīng)的一種設(shè)備、它是高真空、高溫技術(shù)及電磁技術(shù)的結(jié)合

機(jī)械泵
擴(kuò)散泵
加冷阱

10-2~10-10

4

真空輸送

空氣和粒狀物料在真空的抽吸作用下一起流動(dòng)，至限定地點(diǎn)后經(jīng)離心器將物料和空氣分離、真空輸送、如谷物、煤粉、煙草，水泥、粉狀食品等
真空輸送吸入壓力通常300~500托或600~700托。前者混合比(被輸送材料的重是和空氣重量的比例)可達(dá)20,輸送距離達(dá)400~500米。輸送能力達(dá)200噸/小時(shí);后者棍合比達(dá)3~5，輸送距離不大于30米，輸送能力3~10噸/小時(shí)，通?；旌媳榷酁閘~10。真空輸送亦可用于某些液態(tài)物質(zhì)的輸送

渦輪鼓風(fēng)機(jī)
水環(huán)泵（水蒸汽噴射泵）

300~700

(1)在電解鉛的生
產(chǎn)中應(yīng)用真空輸送
將電解槽內(nèi)的鉛水
送至鉛水包內(nèi)，采
用的真空泵為2臺(tái)
SZ~3水環(huán)泵
(2)在化工、煙草、
味精工業(yè)中亦已獲
得應(yīng)用

5

真空過(guò)濾

真空過(guò)濾機(jī)的過(guò)濾滾筒在360度區(qū)間內(nèi)運(yùn)動(dòng)，180度區(qū)間內(nèi)為真空吸料過(guò)濾，90度區(qū)間為真空吸水干燥，90度區(qū)間為充氣排料，從而在整個(gè)360度區(qū)間內(nèi)進(jìn)行連連續(xù)生產(chǎn)。
真空過(guò)濾可用以獲取混合液中的固狀物料或用于濾清，前者如礦山或煤碳工業(yè)的洗選等
稀有金屬“鎳"的生產(chǎn)過(guò)程亦采用了
真空過(guò)濾、真空輸送等工藝

水環(huán)泵

水蒸汽噴射泵

50~100

(1)有色金屬冶煉的氧化鋁采用真空過(guò)濾提取AI(OH)3.
(2)某鋼廠用5臺(tái)Sz-3水環(huán)泵配真空過(guò)濾機(jī)進(jìn)行污
水凈化處理，凈化后作循環(huán)水使用.
(3)某選礦廠真空過(guò)濾機(jī)配1500公斤/小時(shí)(100托)
水蒸汽噴射泵，使用效果良好。

6

真空干燥

真空干燥通常指從固體材料中(亦有
液態(tài)材料)去除水分或有機(jī)溶劑等揮發(fā)性
成分，氣相中壓力低于100托.特別是壓
力低于10托時(shí)，真空對(duì)干燥過(guò)程將起顯著的影響.真空干燥的特點(diǎn)是在較低的溫度下可獲得很高的干燥速度，因此特別適合于不宜升溫的材料或很難干燥的材料.通常，在進(jìn)行真空干燥的過(guò)程中應(yīng)供給適當(dāng)?shù)钠瘽摕帷?/p>

機(jī)械泵

水蒸汽噴射泵

幾托~幾十托

在電氣工業(yè)中,絕緣紙電纜的真空干燥，合成纖
維工業(yè)中錦綸、滌綸生產(chǎn)的切片干燥。食品工業(yè)中乳品，茶精、肉類等的真空干燥.其他如在醫(yī)藥、農(nóng)藥、染料等工業(yè)中皆有廣
泛的應(yīng)用。

7

真空蒸餾

真空蒸餾的目的是使物質(zhì)分離精制，
真空蒸餾在石油和化工工業(yè)中應(yīng)用極廣，
例如，各種有機(jī)油類的蒸餾、可塑劑工業(yè)
中磷酸三酯和磷苯二甲酸二丁酯的蒸餾、
合成樹脂原料、各種高級(jí)酒精、高級(jí)脂肪
酸的真空蒸餾等，藥品工業(yè)中維生素A、
維生素E和苯乙稀的真空蒸餾。香料工業(yè)的香乙醇、高級(jí)乙醇脂的蒸餾。油脂工業(yè)的精制、食品工業(yè)中的制酒、香精的蒸餾等。

往復(fù)式真空泵
水環(huán)式真空泵
旋片式機(jī)械泵

760~10

(1)某廠番茄濃縮用水蒸汽噴射系泵(抽氣量35公斤/小時(shí))一臺(tái)，真空度30托，使用效果良好.蕃茄產(chǎn)量提高將近一倍，(2)年產(chǎn)15萬(wàn)噸的真空制鹽設(shè)備與平鍋制鹽相比，燃料節(jié)約40%。

8

真空制鹽

在真空度為50-100托除盡水或可揮
發(fā)成分，得到精制鹽

滑閥式真空泵

水蒸汽噴射泵

幾百托~十幾托

某鹽廠,真空
制鹽（與鍋制鹽相
比)燃料消耗減少
三分之二，勞動(dòng)生
產(chǎn)率提高了四倍，
成本減少44%

9

真空濃縮

在食品工業(yè)中的應(yīng)用，如各種果汁、
果醬、蛋品、乳制品(煉乳、奶粉)、水
果糖等.又如化工染料的濃縮、制酸，制
堿，以及造紙工業(yè)中紙漿的濃縮等

10

真空除臭

主要用于油脂工業(yè)中粗油脂的精制，
在去除油脂中固有的臭氣或因氣化、分解
所生成的有臭物質(zhì)的同時(shí)也進(jìn)行真空脫色，以保證油脂制品的質(zhì)量和色澤

11

真空結(jié)晶

真空濃縮和結(jié)晶通常在數(shù)個(gè)“蒸汽罐”內(nèi)進(jìn)行，稱多效蒸發(fā)罐(例如制鹽、制糖的真空濃縮結(jié)晶常采用4效或5效蒸發(fā)罐)。用真空泵在諸罐內(nèi)造成不同程度的真空:第一效蒸發(fā)罐內(nèi)的壓力(或被濃縮結(jié)晶液的沸點(diǎn))高于第二效蒸發(fā)罐內(nèi)的壓力(或沸點(diǎn)〕，則第一效蒸發(fā)罐內(nèi)排出的二次蒸氣可作為第二效蒸發(fā)罐的加熱蒸汽，以此類推.因此，真空依縮結(jié)晶與常壓下的加熱結(jié)晶相比可大大提高燃料的利用效率。真空濃縮結(jié)晶更易于實(shí)現(xiàn)機(jī)械化、自動(dòng)化。更利于副產(chǎn)品的綜合利用，因此能有效地降低成本，大大提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和綜合利用率

12

冷凍干燥

冷凍干燥或稱升華干燥.首先將被處理的濕潤(rùn)材料冷卻.使其中水分或其他煤質(zhì)處于冷凍狀態(tài).然后迅速置于真空下使其直接從固態(tài)升華而獲得干燥制品，冷凍干燥的應(yīng)用:生物材料的脫水;生物組織研究中各器官和組織切片的冷凍干燥;移植用組織的保存;細(xì)菌，抗生素、病毒、疫苗經(jīng)冷凍干燥后，再溶性好;血漿、血清、培養(yǎng)液等經(jīng)冷凍干燥保存期長(zhǎng)，組
織成分不變，再溶性良好;冷凍干燥工藝在食品工業(yè)中也獲得迅速發(fā)展，大鄉(xiāng)數(shù)食品(例如肉類、水產(chǎn)、糧食、乳類、水果、蛋類和飲料等)都可以加工成冷凍干燥產(chǎn)品，其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)是食品的營(yíng)養(yǎng)成分和色、香、味被大限度的保存下來(lái)，而且重量輕、體積小、保藏期長(zhǎng)復(fù)水率可達(dá)9o%以上

羅茨增壓泵+機(jī)械泵

油擴(kuò)散泵+機(jī)械泵

水蒸汽噴射泵

1~10-3

某罐頭食品廠2噸真空冷凍干燥設(shè)備用水蒸汽噴射泵(60托)代替羅茨真空泵-機(jī)械泵機(jī)組，大幅度降低冷凍干燥產(chǎn)品成本

13

真空浸漬

將浸漬劑浸入被浸漬物質(zhì)(常是多孔性物
質(zhì))中去，以提高被浸漬物品的性能.在真空條件下(或先抽真空然后加工)一定粘度的浸漬劑更容易均勻地充滿被浸漬物品的微小孔隙，因而產(chǎn)品性能更好。真空浸漬在電氣絕緣工業(yè)中獲得廣泛的應(yīng)用。如將絕緣材料浸入纖維性材料中去，可大大提高其絕緣性能和使用壽命

旋片式真空泵

滑閥泵（水蒸汽噴射泵）

＜5
＜1
幾托~幾十托

各電機(jī)廠、絕緣材料廠、碳素廠，國(guó)內(nèi)某耐火材料廠在生產(chǎn)鋼水包的“
滑動(dòng)水口”新產(chǎn)品時(shí)，成功地采用了真空浸漬技術(shù)，水口兩配合滑動(dòng)面大
于8以上，從而解決了鋼水泄漏問(wèn)題

14

真空調(diào)濕

自然纖維(如絲)、人造纖維、煙草、紙張等產(chǎn)品需調(diào)整其水份含量(主要是增加其水份)，使其含水量均勻和恒定。1,通入水蒸汽;2。將熱水通過(guò)分離器注入;3.將蒸汽和水混合并通過(guò)分離器注入.絲的調(diào)濕通常在注入水或蒸汽后需再次進(jìn)行真空干燥、冷卻、以便調(diào)濕均勻與適度

水環(huán)式真空泵

蒸汽噴射泵+水環(huán)式真空泵

水蒸汽噴射泵

1~20

目前我們煙草工業(yè)中，煙草的真空回潮多采用水環(huán)式真空泵（SZ-3）。缺點(diǎn)是真空度低，回潮周期在合適的回潮溫度下，不易回透，如提高回潮溫度，則又會(huì)破壞煙葉質(zhì)量。某煙廠改用水蒸汽噴射泵。提高了處理真空度，改善了回潮質(zhì)量。

15

真空滲鉻

鉻在汽化溫度(917℃)以上真空度10-2托下產(chǎn)生較大的蒸汽壓力、鉻蒸汽原子向鋼鐵表面沉積并進(jìn)行熱擴(kuò)散，從而表面生成一層牢固的鉻鐵合金，它具有抗高溫氧化、耐腐蝕等性能。真空滲鉻是提高零件壽命、節(jié)約金屬元素的有效途徑之一。

旋片式真空泵

滑閥泵
水蒸汽噴射泵

≤10-2

國(guó)內(nèi)有些工廠已成功使用

16

真空熱處理

在大氣中的熱處理，金屬加熱表面會(huì)受到氧、水蒸汽等的氧化而生成氧化物.采用高純度的隋性氣體作為保護(hù)氣氛，成本很高.真空不但是一種“廉價(jià)的”隋性氣氛，而且在真空條件下還可去除金屬表面原有的氧化物，處理后很少發(fā)生變形，從而使加工余量減至小甚至處理后根本無(wú)需加工.由于真空的脫氣效果可提高產(chǎn)品的強(qiáng)度和耐磨性，真空熱處理工序
穩(wěn)定，熱處理爐幾乎可以全部自動(dòng)化，同時(shí)它還是一種安全、無(wú)煙、無(wú)臭的工藝過(guò)程，目前真空熱處理的實(shí)際應(yīng)用還僅限于高級(jí)工具鋼和待殊鋼(如高合金鋼和高速鋼)，特別是形狀復(fù)雜，處理后無(wú)需研磨的制品

機(jī)械泵+擴(kuò)散泵
水蒸汽噴射泵

10-1~10-3〕托先高真空后經(jīng)常在0.1托左右壓力下加熱，以免Cr,Mo等高蒸汽壓合
金揮發(fā)損失

日本對(duì)SKH，冷鍛用沖模進(jìn)行鹽俗熱處理，加工余量為0.15-0.3毫米，處理后再進(jìn)行研磨、拋光
加工.但改用真空熱理處后，加工余量?jī)H為0.08毫米。日本過(guò)去用鹽浴熱處理SKD11冷鍛模具鋼(生產(chǎn)不銹鋼螺釘)模具平均成形總數(shù)約2~2.5萬(wàn)件，改真空熱處理后，模具在處理
后不必加工即直接使用，模具使用壽命延長(zhǎng)3-4倍

17

真空離子氮化

離子氮化是把待處理的工件放在真空容器內(nèi).然后充入含氮的氣體.通入直流高壓電后，使工件表面層轟擊滲入氮原子，并形成氮化層的，表面熱}Lm的斷方法，它具有氮化時(shí)間短，變形小，耐磨、耐脆，省氨、省電，改善勞動(dòng)條件，實(shí)現(xiàn)無(wú)公害等優(yōu)點(diǎn)，是一種很有前途的表面熱處理的新方法

旋片式真空泵+機(jī)械泵

1~10

18

真空制冷

水在不同的壓力下有不同的沸點(diǎn)，而在沸點(diǎn)溫度時(shí),水變成同溫度的蒸汽就需要吸收大盆的汽化熱，將常溫的水導(dǎo)入低壓容器，則水溫終將降至該壓力下所對(duì)應(yīng)的沸騰溫度

機(jī)械泵
水蒸汽噴射泵

4~20

國(guó)內(nèi)已多有應(yīng)用

19

真空處理

冶金工業(yè)中的鋼液真空處理至今已有十幾種形式，特點(diǎn)是處理批量大、時(shí)間短、成本低，鋼液質(zhì)量高，主要是去除鋼中氣體和部分夾渣，使其含量大大減少.鋼液經(jīng)真空處理進(jìn)行脫氧，脫氧產(chǎn)物或金屬氧化物以氣態(tài)自鋼中逸出.因而處理后鋼的純凈度可接近或達(dá)到真空感應(yīng)爐的水平。處理中還可加入大量合金元素，以提高鋼的性能。

水蒸汽噴射泵
機(jī)械泵+羅茨泵

1~0.1

我國(guó)1956年扮撫順鋼廠就有20噸真空處理設(shè)備。繼有鞍鋼建成100噸
D-H真空處理裝置。上海重機(jī)廠亦有100噸R-H真
空處理裝置、西德，日本都有500噸并帶等離子加熱的真空處理裝置

20

真空燒結(jié)

在真空條件下，對(duì)粉末狀金屬或氧化物加
溫，加壓成形(或不加壓)進(jìn)行燒結(jié).其溫度
低于熔化溫度，高于1ooo℃，尤其適用于高熔點(diǎn)的金屬或氧化物制品.真空燒結(jié)不氧化、不脫碳、組織致密、質(zhì)量好。所需真空度:純鐵0.1-0.01托;不銹鋼0.01托；鋁鑲鈷合金、磁鐵0.1-0.01托；WC、Tic、Ti、Cr及以其為基體的硬質(zhì)合金0.05-0.1托。亦有需要10-5~10-8托高真空燒結(jié)的.

水蒸汽噴射泵
機(jī)械泵
增壓泵
擴(kuò)散泵

1~10-2

用于提高碳化欽基鋼結(jié)構(gòu)硬質(zhì)合金的質(zhì)量，微碳鉻鐵的真空燒結(jié)，提高性能

21

真空熔煉

金屬通過(guò)真空冶煉、燒結(jié)、熱處理等工藝過(guò)程都能提高質(zhì)量和性能，真空冶金有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn):①使金屬及合金中的氣體與夾雜含量大大減少，提高性能.②可準(zhǔn)確控制化學(xué)成分，使合金性能穩(wěn)定。③提高致密性、均勻性和可塑性，消除鋼錠白點(diǎn)、偏析、發(fā)裂 ④可熔煉大氣中不能熔鑄的欽、鋯、鈾等金屬,真空廣泛應(yīng)用于不銹鋼、電工鋼、軸承鋼、高溫合金、難熔金屬的熔煉和鑄造

水蒸汽噴射泵
旋片式真空泵滑閥泵
增壓泵
擴(kuò)散泵

1~10-5

我國(guó)已有幾噸的真空感應(yīng)爐、自耗護(hù)，200 - 600千瓦電子轟擊爐等冶金設(shè)備，國(guó)外已有250噸真空電孤方電弧爐，美國(guó)有12000千瓦電子轟擊爐

22

真空鍍膜

在真空中將固體(基體)表面淀積上金屬
或非金屬（半導(dǎo)體、介質(zhì)）薄膜的技術(shù)。廣泛應(yīng)用在無(wú)線電工業(yè)(集成電路、電阻、電容)，電真空工業(yè)(攝象管的靶、顯像管)，光學(xué)工業(yè)(天文反射鏡)及原子工業(yè)和字航技術(shù)中，輕紡工業(yè)中的金絲銀線、塑料金屬化、商標(biāo)包裝用薄膜、制鏡等也都采用真空鍍膜技術(shù)

旋片式真空泵、增壓泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、離子泵、升華泵

10-2~3*10-9

我國(guó)各真空設(shè)備廠都有各自系列的真空鍍膜機(jī).如蒸發(fā)、濺射和離子鍍膜機(jī)等.實(shí)例有濾光膜、激光膜、分光膜、冷光膜、增透膜、磁性膜‘超導(dǎo)膜和以鋁代銀的鍍鋁鏡等

23

低溫絕熱

中真空(>l0-3托)絕熱已有廣泛的應(yīng)用，如低溫液化設(shè)備、低溫貯運(yùn)設(shè)備、低溫模擬試驗(yàn)和超導(dǎo)磁場(chǎng)的保溫等

旋片式真空泵、增壓泵、擴(kuò)散泵

10-3~10-5

某廠20m3真空粉末絕熱器蒸發(fā)率每天0.5%，還有液氨容器等

24

石油工業(yè)

從油田開采的油井除氣、注水脫氧、貯運(yùn)
排氣到煉油廠的減壓蒸餾、石油產(chǎn)品精制以及潤(rùn)滑脂的脫水脫氣、真空過(guò)濾等都多有應(yīng)用

往復(fù)泵
旋片泵
水環(huán)泵
蒸汽噴射泵

10~700

減壓蒸餾-每個(gè)煉油廠都有各套以上的裝置，各種
真空過(guò)濾脫氣低溫裝置，已都普遍建成

25

其他

真空的應(yīng)用范圍極為廣泛。除上述主要方面以外，還有很多方面都有其具體的應(yīng)用。如真空包裝、真空機(jī)械手、真空貯存、農(nóng)林業(yè)中糧食種子樹種的真空貯存、電瓷陶瓷和土木建筑中
真空煉泥、真空吸附，水泥石棉制品脫水、鑄造生產(chǎn)中的真空負(fù)壓造型、真空壓鑄等